阿斯麦:预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%
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2026-05-16 23:28:26
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2月23日消息,阿斯麦表示,通过提升功率,可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特,预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。(广角观察)

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