原标题：自研率超80%，国产蚀刻机突破技术壁垒，卡住台积电5nm生产线

在芯片制造过程中，除了离不开广为人知的光刻机之外，还需要一项重要程度不亚于光刻机的核心设备，那就是蚀刻机。而我们国内虽然在光刻机领域严重受制于国外供应商，但是国产蚀刻机却突破了技术壁垒，并且还能卡住台积电的5nm生产线。

那么蚀刻机到底是一种怎样的设备呢？国产蚀刻机又是如何实现逆势崛起，达到全球顶尖水平的呢？

蚀刻机的重要性

其实蚀刻机说起来与光刻机差不多，都是一种尤为关键的半导体设备，能在芯片制造环节中发挥出不可替代的重要作用。芯片生产主要有三个核心步骤，分别是光刻、刻蚀和沉积，其中光刻需要的就是光刻机，而刻蚀则仰仗蚀刻机。

可能平时大多数人都比较关注光刻机，而对蚀刻机没什么印象，这是因为光刻机是国产芯片最大的短板，近几年随着国内对芯片产业重视程度的加强，光刻机自然也受到了广泛的关注。

然而需要注意的是，蚀刻机的重要性与光刻机是在同一水平上的，半导体行业普遍认为，没有光刻机，芯片制造过程就无法完成，但如果只有光刻机而没有蚀刻机，那么同样造不出芯片。这是各大芯片代工厂用几十年的经验得出的结果，蚀刻机不可或缺。

就拿台积电来说，作为全球排名第一的芯片制造商，其使用的技术和设备，无疑都是同类产品中最先进的。例如ASML的EUV光刻机，每年都优先供给台积电，但是在蚀刻机方面，台积电却会被国产厂商卡脖子，其5nm生产线需要国产蚀刻机的参与。

尽管国内的光刻机产业不怎么发达，时至今日连一台EUV光刻机都不曾拥有，但蚀刻机却是国产技术的强项，国外的技术壁垒已经被彻底打破了。而这方面的优势，将成为国产芯片的核心竞争力，能够推动国内半导体事业的进一步发展。

尤其是最近两年，美国越发地变本加厉，不仅禁止美企向华为等国产公司提供芯片产品，还要求那些含有美企技术的厂商，在出货之前都必须申请相应的许可证。这种局面直接导致国产芯片面临了很大的压力，现在只有坚定不移地自主研发， 才能迎来转机。

而就这么多年的情况来看，国内对芯片的研究已经很深入了，技术层面并不逊色于国外厂商，像华为海思、中芯国际等，都是全球顶尖的半导体巨头。但唯独在半导体设备方面，由于国外长期的技术垄断和人才封锁，国内始终未能取得较大的突破。

其中光刻机就是最明显的例子，如今国内最先进的光刻机，不过才28nm精度，离ASML的EUV光刻机，还有很大的差距。因此，当前国产芯片最需要解决的问题就是设备方面的短板，国产光刻机和蚀刻机，都是必须要攻克的目标。

好在国内的半导体公司也没有闲着，在举国支持发展芯片技术的大环境下，再加上自身的努力研发，它们终于突破了蚀刻机的技术壁垒。这对于国产芯片事业而言，可以说是一次壮举，有了国产高端蚀刻机，就不用再依赖国外供应商了，甚至还能对台积电进行卡脖子。

那么国内有哪些比较出名的蚀刻机厂商呢？它们又是怎样一步一步达到如今这个高度的？

国产蚀刻机不负众望

如果是在光刻机领域，那么国内就只有上海微电子能当大任，但是在蚀刻机方面，国内却拥有很多优秀的企业，中微半导体和屹唐半导体，就是最具代表性的两个例子。它们的蚀刻机产品，不仅达到了先进水平，还出口到海外市场，早就站稳了脚跟。

首先，先来看看中微半导体，其成立于2004年，距今还不到二十年的时间，但是却已经成为了国内高端半导体设备制造商之一。据了解，中微半导体是一家具有自主研发能力的科研企业，研发出了多款芯片设备，蚀刻机只是其中之一。

另外，截至目前，在全球范围内，中微半导体一共申请了1200多项专利技术，每年的研发投入都是一笔庞大的资金。正是因为专注于技术研发，并且舍得投资，中微半导体才能成为国内领先的蚀刻机巨头，在整个半导体市场都占有重要地位。

其次，屹唐半导体也是国内知名的蚀刻机厂商，而且它的成立时间更晚，是在2015年12月30日，距离现在还不到6年的时间。据爱企查上面的内容显示，屹唐半导体是一家半导体产品研发商，主要为12英寸晶圆厂提供干法去胶、干法刻蚀等设备及应用方案。

简而言之，屹唐半导体也是一家芯片设备供应商，和中微半导体并没有太大的区别。但屹唐半导体在给客户提供设备的同时，还会提出一些解决方案，便于这些设备更好地工作，这是它的独到之处，也是客户选择它的主要原因。

从2015年到现在，屹唐半导体仅用不到6年的时间，就摇身一变成为了国内蚀刻机领域的龙头企业，这个发展速度不得不让人惊叹。而且相关数据表明，早在去年的全球市场，屹唐半导体的干法去胶、干法刻蚀设备，就分别取得了第一和第二的好成绩。

毫无疑问，屹唐半导体之所以能这么快地崛起，肯定离不开自身的努力，它每年的研发投入，大约都占了总营收的20%，能将公司五分之一的收入拿去搞研发，屹唐半导体没有理由不成功。而且屹唐半导体还算是半个国企，能得到国内的大力扶持。

最后，中微半导体和屹唐半导体，都是国内顶尖的蚀刻机巨头，二者已经在半导体设备市场占据了一席之地。这对国产芯片接下来的发展是非常有利的，不仅能够提供设备支持，还可以对国外进行反制。

写在最后

总而言之，全球半导体市场的形势愈发严峻，美国妄想掌控整个芯片产业链，于是下达了一系列规定，甚至还修改了进出口规则。因此，现在留给国内的时间已经不多了，国产芯片必须要尽快实现崛起，摆脱对国外的依赖，相信这一天指日可待。